MEMS传感器是当今最炙手可热的传感器制造技术,也是传感器小型化、智能化的重要推动了,MEMS技术促进了传感器的极大发展。
先进制程是指微电子技术、自动化技术、信息技术等先进技术给集成电路产业晶圆制造技术带来的种种变化与新型系统。
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